本站音讯开云彩票(中国)官方网站，字据企查查数据浮现光迅科技（002281）新赢得一项发明专利授权，专利名为“刻蚀步调及刻蚀建造”，专利央求号为CN202110265900.9，授权日为2024年5月3日。

专利摘录：本公开履行例公开了一种刻蚀步协调刻蚀建造，所述刻蚀步调包括：沿遮罩层中的第一启齿和第二启齿，弃取第一刻蚀气体对介质层同期进行第一刻蚀，酿成具有第一深度的第一凹槽和具有第二深度的第二凹槽；其中，所述第一启齿的启齿尺寸大于所述第二启齿的启齿尺寸，所述第一深度大于所述第二深度；弃取第二刻蚀气体对所述第一凹槽和所述第二凹槽同期进行第二刻蚀，以将所述第一凹槽的深度从所述第一深度加多为第三深度，并将所述第二凹槽的深度从所述第二深度加多为第四深度；其中，所述第三深度就是所述第四深度，所述第二刻蚀气体对所述第一凹槽的刻蚀速度，小于所述第二刻蚀气体对所述第二凹槽的刻蚀速度。

本年以来光迅科技新赢得专利授权34个，较客岁同期减少了26.09%。相关公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面参加了5.6亿元，同比减15.26%。

数据起原：企查查

以上本色由本站字据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本直态度无关开云彩票(中国)官方网站，如数据存在问题请关联咱们。本文为数据整理，辨别您组成任何投资提议，投资有风险，请严慎方案。